よくわかる半導体LSIのできるまで

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日刊工業新聞社, 2004 - 172 ページ
LSIの作り方を設計から組み立て、検査まで、さらにはフォトマスクやウェーハの作り方まで含めて、工程順に易しく解説。半導体LSIに関しては多くの本が出版されています。しかし半導体LSIはどのようなものかを解説した内容がほとんどで、それがどのようにして作られていくのかを、工程を追って判り易く解説した本が欲しい、という声に応えました。

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