超微細加工技術

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応用物理学会, 徳山巍
オーム社, 1997 - 309 ページ
各種技術を幅広く網羅!今後の応用・将来動向までを考察する。

書誌情報

書籍名超微細加工技術
編集者応用物理学会, 徳山巍
出版社オーム社, 1997
ISBN427402332X, 9784274023323
ページ数309 ページ
  
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